掃描電子顯微鏡是根據(jù)不同信息產(chǎn)生的機理,采用不同的信息檢測器,使選擇檢測得以實現(xiàn)。如對二次電子、背散射電子的采集,可得到有關(guān)物質(zhì)微觀形貌的信息;對x射線的采集,可得到物質(zhì)化學(xué)成分的信息。正因如此,根據(jù)不同需求,可制造出功能配置不同的掃描電子顯微鏡。
掃描電子顯微鏡的優(yōu)點
①有較高的放大倍數(shù),20-20萬倍之間連續(xù)可調(diào);
?、谟泻艽蟮木吧?,視野大,成像富有立體感,可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結(jié)構(gòu);
?、墼嚇又苽浜唵?。 目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置,這樣可以同時進行顯微組織性貌的觀察和微區(qū)成分分析,因此它是當(dāng)今十分有用的科學(xué)研究儀器。
由于掃描電子顯微鏡可用多種物理信號對樣品進行綜合分析,并具有可以直接觀察較大試樣、放大倍數(shù)范圍寬和景深大等特點,當(dāng)陶瓷材料處于不同的外部條件和化學(xué)環(huán)境時,掃描電子顯微鏡在其微觀結(jié)構(gòu)分析研究方面同樣顯示出極大的優(yōu)勢。
掃描電子顯微鏡主要表現(xiàn)為:
⑴力學(xué)加載下的微觀動態(tài) (裂紋擴展)研究 ;
⑵加熱條件下的晶體合成、氣化、聚合反應(yīng)等研究 ;
?、蔷w生長機理、生長臺階、缺陷與位錯的研究;
?、瘸煞值姆蔷鶆蛐?、殼芯結(jié)構(gòu)、包裹結(jié)構(gòu)的研究;
⑸晶粒相成分在化學(xué)環(huán)境下差異性的研究等。