使用的飛納電鏡,荷蘭VDL ETG公司正在探索清潔度提升的極限
在高科技行業(yè)中,組件的發(fā)展趨勢是變得越來越干凈,例如對于真空系統(tǒng)的組件??蛻舨荒苋淌苣呐率呛苄〉幕覊m顆粒。然而,為了去除它們,生產(chǎn)商必須首先發(fā)現(xiàn)它們。用的飛納臺式掃描電鏡,可以探測到萬分之一毫米的粒子。荷蘭VDL ETG公司為了清潔晶元而購買了飛納電鏡。在常規(guī)正常生產(chǎn)中,也被證明是非常有用的。
研究清潔的方法
“如果客戶的目標(biāo)是追求越來越干凈,那么我們就必須知道正在和他們討論的是什么。”“知識就是力量”,Geert Jakobs說到。他是VDL ETG技術(shù)開發(fā)公司的總。他的公司,包括TNO和ASM Europe,正在一起參與一個歐洲研究項目,以研究開發(fā)新的晶圓清潔工藝。“我們需要更多地了解清潔產(chǎn)品的制造,為此,這個項目是一個不錯的平臺。”它是關(guān)于從組件表面去除微小的100納米(一納米是百萬分之一毫米)的塵埃顆粒。
我們在這個項目中的目標(biāo)是研究公司必須使用的生產(chǎn)方法。這些粒子非常小,以至于不能再用傳統(tǒng)的技術(shù)看到它們(比如近紫外光直接檢查)。因此,我們需要尋找一種方法來檢測這些粒子,并確定它們的來源。
荷蘭產(chǎn)品
VDL ETG購買了來自荷蘭埃因霍溫的飛納臺式掃描電鏡。飛納臺式掃描電鏡能譜一體機 Phenom ProX 不僅可以用來成像,還可以用其內(nèi)置的能譜儀EDS進行化學(xué)元素分析。
技術(shù)Luuk Berkelaar說,正是飛納電鏡的技術(shù)指標(biāo)和實際性能贏得了VDL ETG的青睞。“分辨率和放大倍數(shù)是對我們來說zui重要的參數(shù)。此外,利用元素分析可以確定粉塵顆粒的化學(xué)成分,從而可以追溯其根本原因。”此外,VDL ETG還購買了于測量和分類粉塵顆粒的顆粒統(tǒng)計分析測量系統(tǒng),以及表面粗糙度的測定軟件。
VDL ETG采購飛納電鏡的主要原因是什么呢。飛納Phenom是一個荷蘭產(chǎn)品確實很重要,但不是直接決定因素;競爭對手產(chǎn)品也同樣被關(guān)注。特別重要的是的指標(biāo)參數(shù)——以及另一種支持荷蘭產(chǎn)品的觀點——距離Phenom-World總部更近。
Berkelaar說到:“Phenom-World公司非常友好和開放,我們直接與了解產(chǎn)品技術(shù)的人員面對面交流”。來自VDL ETG的工作人員對電鏡系統(tǒng)的工作和軟件使用提供了非常好的反饋:還有什么掃描電鏡可以稍微不同甚至更好?”
飛納Phenom的優(yōu)點是比它的競爭對手更緊湊,所以它可以被放置在一個標(biāo)準(zhǔn)的超凈臺里面(為了防止環(huán)境里的污染物進入。
檢測能力建設(shè)
飛納臺式掃描電鏡現(xiàn)在在埃因霍溫(Eindhoven)的VDL ETG的超凈臺里操作使用。Berkelaar說;“我們?yōu)榱悴考纳a(chǎn)過程帶來變化,并研究其對生產(chǎn)的零部件的顆粒清潔度的影響。有各種表面處理和生產(chǎn)工藝。”
此外,飛納臺式掃描電鏡已經(jīng)被用于幫助解決常規(guī)生產(chǎn)中的質(zhì)量問題,Geert Jakobs補充道。“例如,我們可以看到奇怪的斑點,裂縫和焊縫。飛納Phenom已經(jīng)證明了它的價值,并在我們的團隊中對實驗室檢測能力做出了貢獻。
VDL ETG的樣品是荷蘭*個在超凈臺監(jiān)測清潔度的樣品。我們現(xiàn)在正研究是否也有其他環(huán)境需要非常干凈的應(yīng)用案例。這樣飛納電鏡將幫助更多的客戶提供超凈環(huán)境中的掃描電鏡檢測。
350x放大倍率下的樣品圖像
同種樣品的化學(xué)元素分析
VDL ETG
自2006年以來,VDL Enabling Technologies Group (ETG)成為VDL Group的一部分。VDL Group公司總部位于荷蘭的埃因霍溫,是一家專注于開發(fā)、生產(chǎn)和銷售半成品、公共汽車、客車等產(chǎn)品及汽車組裝的實業(yè)公司。
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