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飛納電鏡邀您相聚 SEMICON 2020

 更新時間:2020-06-24 點擊量:2073

 

會議時間:2020 年 6 月 27 日 - 29 日
會議地點:上海新博覽中心

 

飛納電鏡展位號:E3369

 

飛納臺式掃描電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX

隨著半導(dǎo)體科技的進(jìn)步,電子器件早已融入到人類生活的方方面面,但隨著生活質(zhì)量和生活方式不斷變化,人們對于電子器件的使用要求以及功能也提出了新的要求,使得更嚴(yán)格的品質(zhì)管控勢在必行。

 

掃描電鏡及 EDS 能譜儀是半導(dǎo)體以及封裝失效分析的重要工具。在封裝缺陷和失效分析中,可以通過 SEM-EDS 對焊接或互聯(lián)界面情況進(jìn)行高分辨表征,提供更高放大倍率的金屬間化合物界面、裂縫和相關(guān)缺陷的微區(qū)成像以及元素分析。

 

  

封裝缺陷

 

 

優(yōu)中心樣品杯——多角度自由傾斜旋轉(zhuǎn)

  

多角度檢查焊接情況

 

IC 去層分析 (Delayer)

 

無論對于工藝設(shè)計,還是生產(chǎn)控制或者缺陷分析。去層分析是一種重要手段。

 

交互使用各種不同處理方式(離子蝕刻 / 化學(xué)藥液蝕刻 / 機(jī)械研磨),使芯片本身多層結(jié)構(gòu)(Passivation, Metal, IDL)可一層一層去除,也就是芯片去層(Delayer)。通過層次去除(Delayer)可逐層檢視是否有缺陷,并可提供后續(xù)實驗,清楚呈現(xiàn)出每一層電路布線結(jié)構(gòu)。

 

  

傳真:

郵箱:info@phenom-china.com

地址:上海市閔行區(qū)虹橋鎮(zhèn)申濱路 88 號上海虹橋麗寶廣場 T5,705 室

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